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      真空镀膜机维护

      2020-11-16 16:17:01

      真空镀膜机主要是指需要在较高真空下进行一种镀膜,包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中间频磁龙溅射镀膜机、多功能中间频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等系列真空镀膜设备。那么,在使用真空电镀机时,我们应注意什么?如何维护它?

      真空镀膜机维护和安全措施如下:

      真空镀膜机维护

      1. 设备必须可靠接地,并且必须经常检查接地装置的导电效果。

      2. 当扩散泵和增油泵加热时,不要接触大气,以免泵油氧化。

      3. 定期检查调节水流继电器,检查断水报警是否正常,确保设备冷却供水畅通。

      4. 加热前冷却水必须连接到扩散泵和增油泵,泵停止工作,但当泵未冷却到低于 80°C 时,不得切断冷却水,以防止泵芯燃烧。

      5. 所有设备的冷却水在涂装工作前必须连接,以防止电极和基板燃烧。

      6. 拆卸和组装设备的各个部件时,应注意保护每个密封工作表面免受机械划痕或损坏,以确保设备可靠的密封性能。

      7. 设备各传动轴的真空密封采用"骨架油封"形式,骨架油封内腔充满润滑油。使用一段时间后,它将会丢失,并且必须用同样的润滑剂填充。

      8. 经常检查根泵和滑动阀泵的储油情况,并定期补充。同时,按照手册的要求进行维护。


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